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微电子机械系统进展和趋势
王渭源, 鲍敏杭
1996, 2(3): 129-136.
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一种新结构薄型压电行波小马达
沈德新, 张健, 张保安, 卢建国, 杨根庆, 王渭源
1996, 2(3): 137-142.
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A Silicon-Based Integrated Micromotor
XIE Huikai, SUN Xiqing, LIU Litian, LI Zhijian
1996, 2(3): 143-146.
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一种二次自对准的镍微静电马达
毛敏耀, 王效东, 解健芳, 王渭源
1996, 2(3): 147-151.
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电磁微电机中平面微线圈磁场分布特性的研究
车录锋, 吕琼莹, 王立鼎
1996, 2(3): 152-157.
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微型静电悬浮Z向加速度计的计算机模拟
李宝清, 陆德仁, 熊斌, 卢平芳, 何国鸿, 鲍敏杭, 王渭源
1996, 2(3): 158-165.
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压电定位元件的非线性及其线性化控制原理
吴一辉, 杨宜民, 王立鼎
1996, 2(3): 166-171.
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激光LIGA工艺实验设计
沈蓓军, 王润文, 路敦武, 黄惠杰
1996, 2(3): 172-176.
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在MEMS中引入VR技术
赵新, 卢桂章, 黄亚楼
1996, 2(3): 177-181.
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台阶阵列阴极真空微电子压力传感器研究
夏善红, 崔大付, 韩泾鸿, 陈绍凤, 王利
1996, 2(3): 182-186.
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智能气体传感器研究
虞承端, 梅涛, 申飞, 倪林
1996, 2(3): 187-193.
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悬桥式微流量传感器
能斌, 陆德仁, 王渭源
1996, 2(3): 194-199.
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BSC——ISFET的特殊工艺研究
陈绍凤, 韩泾鸿, 陈德勇, 王利, 付秉相
1996, 2(3): 200-205.
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