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纳米压印研究进展及创新应用
王梦诚, 吴迪, 施泓兵, 宿智娟, 杨卓青, 臧法珩
2026, 32(1): 013101. DOI: 10.3724/jfmd.2509063
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原子层沉积在气体传感器中的应用研究进展
宋法余, 张菁源, 李伟金, 涂敏
2026, 32(1): 012102. DOI: 10.3724/jfmd.2507043
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面向原子传感器的芯片级原子气室研究进展
候建伟, 臧法珩, 李德钊, 李铁, 郭小军, 杨卓青
2026, 32(1): 012103. DOI: 10.3724/jfmd.2503004
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区域选择性原子层沉积的研究现状与发展趋势
武晓瑞, 欧阳亦, 石建军, 陆雪强, 左雪芹
2026, 32(1): 013104. DOI: 10.3724/jfmd.2507041
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局域电化学沉积增材制造发展与应用现状
金奕帆, 彭慧玲, 文惠敏
2026, 32(1): 013105. DOI: 10.3724/jfmd.2508055
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基于氧化铪构建的人工神经网络研究进展
刘鎏, 曹炜康, 杨书亮, 胡轶群, 李庆轩, 李振海
2026, 32(1): 012106. DOI: 10.3724/jfmd.2504018
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基于原子层沉积的Ru薄膜制备及其导电性能研究
左雪芹, 卢陈梓, 陆雪强, 包志豪, 黄高山, 梅永丰, 石建军
2026, 32(1): 011207. DOI: 10.3724/jfmd.2508050
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基于28 nm CMOS技术平台的STI无接缝填充工艺研究
刘聪, 李华曜, 张欢欢, 刘欢
2026, 32(1): 013208. DOI: 10.3724/jfmd.2509061
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电子束套刻精度量测中TIS的影响研究
张瑜, 卞玉洋
2026, 32(1): 013209. DOI: 10.3724/jfmd.2505029
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基于格点优化策略的化学机械研磨模型优化方法研究
张瑜, 刘建忠, 刘必秋
2026, 32(1): 013210. DOI: 10.3724/jfmd.2509066
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基于二维MoS2的感算器件实现仿生视觉
裘斯琦, 辛凯耀, 魏钟鸣
2026, 32(1): 012311.
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基于缺陷工程提升光电器件发光效率
黄森
2026, 32(1): 012312.
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