优先发表

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电子束套刻精度量测中TIS的影响研究
张瑜, 卞玉洋
DOI: 10.3724/jfmd.2505029
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原子层沉积制备Ru薄膜及其导电性能研究
左雪芹, 卢陈梓, 陆雪强, 包志豪, 黄高山, 梅永丰, 石建军
DOI: 10.3724/jfmd.2508050
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基于氧化铪构建的人工神经网络研究进展
刘鎏, 曹炜康, 杨书亮, 胡轶群, 李庆轩, 李振海
DOI: 10.3724/jfmd.2504018
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区域选择性原子层沉积的研究现状与发展趋势
武晓瑞, 欧阳亦, 石建军, 陆雪强, 左雪芹
DOI: 10.3724/jfmd.2507041
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面向原子传感器的芯片级原子气室研究进展
候建伟, 臧法珩, 李德钊, 李铁, 郭小军, 杨卓青
DOI: 10.3724/jfmd.2503004
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原子层沉积在气体传感器中的应用研究进展
宋法余, 张菁源, 李伟金, 涂敏
DOI: 10.3724/jfmd.2507043
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纳米压印研究进展及创新应用
王梦诚, 吴迪, 施泓兵, 宿智娟, 杨卓青, 臧法珩
DOI: 10.3724/jfmd.2509063
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