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电磁型微马达的研究
张寿柏
,
赵小林
,
丁桂甫
,
张琛
1998, 4(2): 73-77.
摘要
PDF
(
)
微机械加工的微型压电行波马达
沈德新
,
张健
,
张保安
,
卢建国
,
董荣康
,
陈思琴
,
杨根庆
,
王渭源
1998, 4(2): 78-82.
摘要
PDF
(
)
凸极轴瓦结构的微晃动马达制作与性能研究
齐臣杰
,
谢会开
,
谭智敏
,
刘理天
1998, 4(2): 83-88.
摘要
PDF
(
)
环状SMA微夹钳工作原理的研究
李路明
,
王立鼎
1998, 4(2): 89-94.
摘要
PDF
(
)
铝硅双金属驱动膜片形变方向控制及其结构参数的优化
庞江涛
,
战长青
,
谭智敏
,
钱欣
,
刘理天
,
李志坚
1998, 4(2): 95-100.
摘要
PDF
(
)
微流量泵与微流量传感器的系统集成
庞江涛
,
战长青
,
谭智敏
,
钱欣
,
刘理天
,
李志坚
1998, 4(2): 101-104.
摘要
PDF
(
)
对称体微机械电容加速度传感器的结构设计
邹强
,
陆德仁
,
王渭源
1998, 4(2): 105-113.
摘要
PDF
(
)
硅体微机械叉指电容式加速度传感器设计研究
熊幸果
,
邹强
,
陆德仁
,
王渭源
1998, 4(2): 114-120.
摘要
PDF
(
)
新型双轴电容式微加速度传感器优化设计研究
刘泽文
,
刘理天
,
李志坚
1998, 4(2): 121-125.
摘要
PDF
(
)
KrF准分子激光直接消融深层光刻紫外光刻胶实验研究
沈蓓军
,
王润文
,
路敦武
,
王立鼎
,
梁静秋
,
姚劲松
1998, 4(2): 126-130.
摘要
PDF
(
)
虚拟环境中微泵变形规律及算法研究
赵新
,
卢桂章
,
陆斌
,
李明
1998, 4(2): 131-137.
摘要
PDF
(
)
几种微机械系统组装技术
路敦武
,
黄惠杰
,
沈蓓军
,
杨良民
1998, 4(2): 138-140.
摘要
PDF
(
)
微机械部件运动的光学测量
瞿荣辉
,
丁浩
,
赵浩
,
方祖捷
,
陈高庭
1998, 4(2): 141-144.
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